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让微米级的缺陷与形貌变化无处可藏
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晶圆定位系统 · 显微外观检测 · 双线激光3D测高 · 多传感器联合标定 · AOI检测软件
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晶圆定位系统
晶圆环切定位 · 切割道检测 · 重复精度≤0.5μm
✓ 20+套交付，连续3年服务同一客户
🔬 显微检测
显微外观检测
多帧融合 + AI分类 · 微米级缺陷识别
✓ 检出率 ≥98% · 误检率 ≤1%
📐 3D测量
3D测量方案
支持线激光/结构光 · 重复精度≤10μm
✓ ≤10μm重复精度 · 灵活部署
📡 多传感器标定
多传感器标定
视觉模组与IMU联合标定 · 自动化标定流程
✓ 多模态传感器融合 · 空间标定
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